关于影响FTIR红外光谱仪IR强度的因素分析及调节技术研究

在整个晶圆膜厚量测系统测试过程,由于IR 信号太弱导致光谱仪无法正常运行,每次均需要花大量工时进行调试。这对代工设备工厂来说,直接影响到交期,并增加人力成本。因此对影响IR强度的几个比较关键的因素,光源,分光镜位置,Laser光强度进行分析并且找出快速有效的解决办法,对代工设备工厂按时交货,提高客户满意度,降低人力成本非常有意义。