集成电路晶圆探针测试综述

介绍了集成电路制造的测试的重要性,对晶圆探针测试的意义进行了进一步的分析,对晶圆探针测试的典型项目进行了简述,列出了测试分析过程、测试目的及测试方法。 并对集成电路测试的发展进行了展望。