高精密的洁净室控制策略

洁净空调系统中温度、湿度、空气洁净度和振动、噪声等环境条件的细微变化均有可能对加工、检测、装配的精度产生重要的影响。 实现恒温、恒湿超高精度精密要求除涉及建筑热工和空气调节外,超高精度精密控制策略是非常非常重要的环节。