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HERO工艺疑难问题探讨

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摘要 由于HERO工艺专利的特殊性;且在国内并无太多应用;仅有的各项目均为个例;因此关于HERO工艺的应用中的存在着诸多的共同疑难问题。文章通过对目前HERO工艺各案列进行深入研究和探讨;对其中重要的共性问题作出了有严格理论依据的解答;为工艺设计及管理人员提供参考和帮助;对今后的工艺优化和改进提供了新的思路和方法。
作者 吴凡
出处 《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》 2016年第9期291-291,293,共2页
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