多晶硅尾气回收工艺研究进展

以多晶硅为基础原料的产业,类似于太阳能光伏、半导体、电子信息等产业近年来得到快速的发展,在这些新兴产业的发展中,多晶硅作为原料,所需数量也在逐年递增,并且增长速度越来越快。那么降低多晶硅在生产中的能耗,以及对多晶硅的尾气处理,也成为了在生产多晶硅的过程中不可避免的问题。在本文中,详细讲解了对其工艺的分析和对其尾气的处理及回收利用,目的是为了减少生产多晶硅所需的能源,防止污染环境,提高企业的收益。