激光位移传感器在角度测量中的应用研究

由于激光位移传感器拥有测量准确度高和非接触式的特征,可以应用于很多方面,它可以用来测量工件的角度,从而完成对角度的准确性测量。激光位移传感器扫描二面角的两个面,再利用Matlab程序对测量数据进行最小二乘拟合,获得二面角两侧的斜率,得到角度。通常使用的位移传感器的分辨率是0.3μm,导轨的重复性和步进电机高于3μm和测量角度的准确性高于1。本文通过对角度测量的分析,旨在研究激光位移传感器在角度测量中的应用研究激光位移传感器的工作原理以及激光位移传感器角度测精度估计和实验测量。