浅论工艺冷却循环水系统控制要求及控制方法

本文通过对集成电路研发中心工艺冷却水系统的分析,简要介绍了半导体生产线中工艺设备生产线对工艺冷却水系统的要求,通过分析工艺冷却水系统的在运行状况,对工艺冷却水系统的运行及控制进行阐述。