氦检漏压氦方法的优化研究

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摘要按《半导体分立器件试验方法》,电子元器件的细检漏可采用氦质谱检漏的方式进行检漏,本文就氦质谱检漏的压氦方式方法进行研究,对细检漏设备的检漏平台及检漏方式进行优化和改造,以获得准确的检测结果。

作者刘姚军

机构地区国营芜湖机械厂

出处《中国航班》 2020年第2期68-68,79,共2页

关键词检漏氦质谱

1王昊晴,孙岗,王宁华,张鹏飞,李向阳,林金阳,刘宁.特高压气体绝缘输电线路壳体出厂试验气密性检测方法研究[J].高压电器,2020,56(3):197-202. 被引量：7

中国航班

2020年第2期

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