基于多晶硅生产中精馏工序工艺优化分析

化工领域中生产多晶硅多采用改良西门子法,该生产工艺在实际应用中具有较高的生产效率,但在实际的加工生产中发现生产过程中产生的中间产品三氯氢硅对多晶硅的最终品质具有显著的影响,因此提升生产过程中三氯氢硅的质量是生产工艺优化的主要选择。本研究通过对多晶硅生产中现行的精馏工序工艺的分析,以探求工艺优化的有效途径以及有待深入优化的精馏工序工艺,以此为以后多晶硅加工生产提供一定的参考。