芯片制程设备的集成式真空泵站设计

为适应芯片晶圆厂快速建设投产的要求,自行设计制造了几种不同类型的集成式真空泵站,并对真空系统采用了集成化结构,洁净管控下制作,满足了芯片晶圆厂设备快速投产的要求。