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超声波检测在半导体工艺中的应用

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摘要 超声波检测是常见的无损检测技术,广泛地应用于半导体工艺,管道无损检测等方面。本文结合实际案例,对半导体工艺中的超声检测技术进行分析,研究超声检测在器件焊接,半导体封装等方面的应用,期望为相关研究提供参考。
作者 张育坤 罗璨
出处 《华东科技(综合)》 2021年第6期32-32,共1页 east china science & technology
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