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超声波检测在半导体工艺中的应用
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摘要
超声波检测是常见的无损检测技术,广泛地应用于半导体工艺,管道无损检测等方面。本文结合实际案例,对半导体工艺中的超声检测技术进行分析,研究超声检测在器件焊接,半导体封装等方面的应用,期望为相关研究提供参考。
作者
张育坤
罗璨
机构地区
中国振华集团永光电子有限公司
出处
《华东科技(综合)》
2021年第6期32-32,共1页
east china science & technology
关键词
半导体工艺
超声波检测
应用分析
分类号
N [自然科学总论]
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华东科技(综合)
2021年 第6期
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