氯硅烷提纯工艺中树脂除杂技术探讨

在改良西门子法中生产多晶硅的过程中,氯硅烷中的杂质主要由工业硅粉、氢气、氯化氢和设备引入,氯硅烷中的施、受主杂质以多种化合物的形态存在,部分与氯硅烷沸点相近的杂质通过传统的精馏工艺难以有效去除。传统的多晶硅精馏工艺可满足太阳能级多晶硅的生产,但无法满足生产电子级多晶硅产品的需求,需辅以其他工艺进一步降低氯硅烷中的杂质含量。本文就采用树脂除杂技术提升氯硅烷提纯效果进行分析与探讨。