缓冲氧化物刻蚀液(BOE)废液处理技术探究

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摘要针对于BOE废液中F-含量高、NH3-N/TN含量高、处理难度大等问题,采取将BOE废液常温常压下进行酸碱中和,并加入絮凝剂进行絮凝沉降,通过滤压技术进行固-液分离,再经三效蒸发技术,进行合理化处理填埋。

作者修德勇张言王东博

机构地区中节能(盘锦)清洁技术发展有限公司

出处《中国科技期刊数据库工业A》 2021年第7期411-412,共2页

关键词 BOE 氢氧化钙絮凝沉降三效蒸发填埋

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中国科技期刊数据库工业A

2021年第7期

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