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工业超纯水处理技术能耗研究

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摘要 半导体行业对水资源、电能等方面的消耗十分巨大,如何在纯水制造过程中降低能耗已成为该行业目前重要的研究课题。基于此,本文对降低工业超纯水处理技术能耗的先进意义进行探讨,重点研究降低能耗的有效方法,以供参考。
作者 王玉平
出处 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2021年第6期270-270,274,共2页
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