摘要
在生产多晶硅的生产技术中,改良西门子法是当今生产的主流技术,还原炉是生产多晶硅的核心设备。在生产多晶硅棒的生产炉型中主要有18对,24对,36对,48对还原炉。目前行业在用的18对棒还原炉的特点:电极虽然分布均匀,但气场却存在不稳定性,产品质量在太三至电三之间波动较大。18对棒还原炉在当下较为少用,一般都用在质量较高的产品等级上使用,由于炉型设计较早,尾气口分布和进料喷嘴模式设计存在缺陷;主要的设计模式为,其底盘分布模式及进料方式为:进、出气管道采用夹套式,三层套管结构,出气管在外面包住进气管,分为4组夹套管,在还原炉底盘中央一组,外环与中环之间成120°夹角均匀分布,出气管道外部为冷却水夹套。通过技术研发后将4根进料口改为中心一根进料口,匹配合理的流速,在炉筒直径较小的现状下,减少炉内的紊乱气场波动,使气场达到一个较为顺畅的流动环境。实验得出的效果完全超出原设计的产品质量及外观质量,致密料比例基本可以控制在90%左右,速率可达到35kg/h大大提高了效率,并且有效解决掉电的现象。
