浅谈改良西门子法生产多晶硅工艺及其质量控制

就目前国内外多晶硅生产方式来看,改良西门子法是其中最为成熟,也是最受关注的主流技术,对多晶硅生产行业的快速发展具有重要意义。为此,简要概述改良西门子法,分析了改良西门子法生产多晶硅的工艺特点,并从低压氯化环节、精馏提纯环节、还原反应环节、尾气回收环节以及氢化氯化环节五个方面,对改良西门子法的工艺流程以及质量控制进行了深入研究,以期全面提升多晶硅的生产质量以及生产效率,进而为多晶硅生产行业人员提供一定的借鉴与参考。