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多晶硅产品质量的影响原因分析

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摘要 多晶硅作为一种信息产业产品,其社会需求量逐渐增加,并且应用范围较广,不仅能够为太阳能等新能源提供所需的基础材料,也能为人工智能、自动控制等系统提供保障,因此,需要有效提升多晶硅的产品质量,将其生产流程中可能影响产品质量的因素进行全面分析,基于此,本文简要概述了还原法制备多晶硅工艺,分析了原料质量以及设备清洁度对多晶硅产品质量的影响,并从混合气配比、温度以及三氯氢硅提纯三个方面,深入研究了工艺方法对多晶硅产品质量的影响。
作者 丁建忠
出处 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2021年第7期196-196,198,共2页
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