摘要
在生产多晶硅的生产技术中,改良西门子法为主要的生产方法。在生产多晶硅棒的过程中,将四氯化硅(SiCl4)气体和氢气(H2)按一定比例混合后通往氢化炉,氢化炉内的石墨发热体在通电后产生热能,炉内温度达1200~1250℃时,四氯化硅和氢气会发生反应。在如此高的热场条件下,对于电器连接件的考验非常大,既要不受高温粉化的影响还要起到传递热量的作用,为保证生产过程能够稳定运行,国内行业在热传递方面采用主要以石墨材质为主,但是由于石墨材质在高温、高流速下易出现粉化,导致粉尘在炉内肆意乱窜,从而进入绝缘套内导致生产停止;由于这个原因,在热氢化炉内防尘、防腐蚀是比较棘手的问题,这些问题不能得到解决,生产就无法稳定。研究一套既能进行隔热,又能隔离粉尘抗腐蚀的方法或装置是比较关键的问题。本次研究的主要材料是使用石英玻璃、氮化硅材料进行复合作用达到使用的目的。
