多晶硅片表面金属催化化学腐蚀法制绒研究现状

在多晶硅太阳能电池的生产过程中,金刚石线切割技术具有切割速度快、精度高、原材料损耗少等优点。金刚石线切割在硅表面形成的损伤层较浅,与传统的酸蚀工艺不相匹配。金属催化化学刻蚀具有操作简单、结构可控、易于形成高深宽比绒面革等优点,具有广阔的应用前景。综述了不同类型金属催化剂在制绒加工过程中的腐蚀机理和织构结构。对银、铜的单一和复合催化腐蚀过程、织构结构和电池性能进行了分析和讨论。最后,分析了金属催化化学腐蚀在硅片表面存在的问题,并对今后的研究方向进行了展望。