摘要
近几年,受到太阳能发电等光伏产业的影响,多晶硅的制备工艺开始被重视。但是起初多晶硅发展的产量小,我国的制备工艺主要是改良西门子法,需求少、工艺尚先进,能够基本满足当时相关产业发展的需要,所以对于提高多晶硅制备质量少有研究。在能源的制约和生态环保的共同要求下,太阳能发电的优点就突显出来,并且在近几年市场反应良好。多晶硅的制备是生产代养能电池的重要环节,但是现如今多晶硅的制备工艺,尽管有一定基础但是限制因素较多,多晶硅制备的质量受到挑战。本文的研究主要分析了在通过还原法制备多晶硅的过程中,三氯氢硅、硅料质量以及氢气等因素对制备质量的影响。
