基于分立遮光屏的干涉仪测量固体薄膜的折射率

在本文中我们对比了测量固体薄膜折射率时常用的两种方法,几何法和波动法。通过大量的文献调研和具体的实验发现,基于几何法设计制造的测量固体薄膜折射率的装置无法对固体薄膜实现非接触式的高精度测量。因此,本文中我们提出使用基于波动法改进的新型迈克尔逊干涉仪对固体薄膜的折射率进行高精度的测量。在本文中我们设置待测薄膜的折射率为1.500,通过大量多次的测量测得待测薄膜的折射率为1.503,因此其测量精度为99.80%。