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波纹膜片压力传感器的研究
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摘要
膜片压力传感器的结构微小,制作工艺简单,成本低,响应迅速,对温度不敏感等优势,在多个领域得到了广泛应用。文章提出一种新型波纹膜片的加工方法,简化了其传统制作工艺,降低了其制作周期,减少了其耗材;给出了该方法进行金属波纹膜片和PET膜片制作的流程和参数,为波纹膜片压力传感器的制作提供了参考。
作者
吕程
姜乔
王愉忱
机构地区
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2022年第1期247-250,共4页
关键词
波纹膜片
压力传感器
制作工艺
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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中国科技期刊数据库 工业A
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