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压力传感器波纹膜片结构的优化
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摘要
波纹膜片是压力传感器中非常重要的部件,其参数设计质量直接影响传感器的性能。影响波纹膜片结构的参数有波纹膜片的厚度、波纹深度和波纹数目,波纹采用有限元分析方法,分析了不同参数下压力传感器输出信号的性能,实现了波纹膜片结构的优化。最后,文章通过测试的方法,验证了优化后波纹膜片传感器的重复性、迟滞性、线性度和灵敏度,验证了结构优化的正确性。
作者
王瑜忱
宫盛阳
姜乔
机构地区
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2022年第2期44-47,共4页
关键词
波纹膜片
压力传感器
结构优化
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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中国科技期刊数据库 工业A
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