磁控溅射技术的发展与应用

近年来,随着对新功能薄膜需求的不断增加,各种薄膜材料得到广泛开发和利用,磁控溅射技术也获得了飞速发展,在薄膜材料的制备中起到了举足轻重的作用。磁控溅射技术可以沉积各种金属镀层、化合物镀层、复合镀层等,应用十分广泛。本文介绍了磁控溅射技术的工艺过程、发展状况以及各种磁控溅射技术的工艺特点,并阐述了磁控溅射技术在光学薄膜、材料力学、表面装饰、纺织以及医学领域方面的应用。磁控溅射技术也将与现代新技术相结合,进一步向生产和生活领域不断拓展。