摘要
本文基于硅基微加工技术提出了一种具有加热测温一体化功能的湿度传感器,介绍了其工艺制备方法,并对低温环境下的湿敏特性展开了研究。加热测温采用蛇形铂电阻,这种加热器结构热分布目标温度覆盖区域比较大,温度分布均匀,同时铂材料性质稳定,测温线性好,是良好的加热测温电极材料。采用湿度发生器、LCR数字电桥、精密露点仪对传感器的输出特性进行测试。测试结果表明,传感器响应时间(τ63.2)小于5s,检测范围为(10~95)%RH,非线性优于±5%FS。低温环境下对比实验表明,传感器的加热结构明显改善了低温环境下湿度传感器湿敏性能,减小了恢复响应时间,提高了传感器非线性和稳定性。
