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隔膜泵输送光刻胶的替代方案初探

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摘要 随着数字化,智能化在各行各业的逐步深入应用,推动了数字经济的快速发展,作为数字化,智能化的基本载体,半导体芯片的需求量在近年来呈现出井喷式的增长,需求市场规模的增长使半导体芯片供给严重不足。使其更严重依赖进口,瓶颈效应进一步突现。在此背景下提高原生产线的生产效率,尽最大努力提升产量便成了我们的客户,光刻胶 - 半导体芯片制造工艺过程中的重要原材料供应商所面临的问题。我们采用转子泵替代原隔膜泵在过滤罐装工艺上做了大胆的探索。并取得一定效果,提升了生产效率。
作者 朱弘
出处 《电脑乐园》 2022年第4期232-234,共3页 Student Computer
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