红外光谱技术在三氟化氯气体分析中的作用

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摘要三氟化氯(ClF3)作为高端制造业中的功能型特种气体在氟化工生产中一直处于重要的战略地位。针对三氟化氯特种气体纯度的检测,本文通过结合傅里叶变换红外光谱分析技术(FTIR)对化工催化反应合成的三氟化氯进行了快速的在线检测和深入分析,结果表明制得的三氟化氯气体中则含有OF2、H2O和CO2和HF等杂质气体,为后续制备工艺的优化和纯化工艺的设计提供了有效地指导。

作者陈旺阎瑞廖群罗艳

机构地区四川红华实业有限公司

出处《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2023年第2期71-74,共4页

关键词三氟化氯傅里叶红外光谱在线分析

分类号 R446 [医药卫生—诊断学]

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