多晶硅生产中化学过程控制研究

多晶硅生产起源于20世纪50年代,我国的多晶硅产业产量大,主要用于半导体市场,初期市场发展对半导体需求量较低,但随着光伏产业的发展,半导体需求增加,使得多晶硅生产规模扩大。西门子多晶硅生产,是当下的主要技术,本文通过对多晶硅生产工艺分析,阐述多晶硅生产过程中化学控制措施,提出保障生产质量、生产效率的管理手段。