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《半导体制造技术》教学改革探索

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摘要 集成电路、太阳能光伏、发光二极管(LED)以及微电机系统(MEMS)传感器等行业的蓬勃发展迫切需要大量半导体制造相关技术人才。在过去十年的教学实践中,苏州科技大学《半导体制造技术》教学团队,紧密围绕国家半导体行业人才需求,充分借鉴国内同类高校在教学方法、教学内容、双语教学、以及实践教学等方面的经验,结合学科发展、专业建设、学生深造和就业需求,充分考虑《半导体制造技术》课程特点,对教学内容、教学方式、学生实践、考核方法等环节进行了全面的改革探索,取得了良好的人才培育成效。希望这一系列教改尝试能为相关课程的教学工作提供借鉴。
基金 国家自然科学基金“WO3外延薄膜的气敏性能研究”(51502186) 苏州科技大学教学改革与研究项目“基于CPS技术的师范生实验教具开发及教育实践研究”(2021JG-17)。

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