多晶硅生产回收氢气杂质控制

在多晶硅生产阶段中,杂质与气体会产生化学变化,使得氢气本质出现变化导致多晶硅性能满足不了生产要求。基于此,本文分析多晶硅生产回收氢气杂质来源后,按照《污水综合排放标准》运用常规预处理工艺、控制密勒指数以及零排放处理等多种综合控制措施进行多晶硅生产回收氢气杂质控制。在多晶硅生产时使用这些方法,能针对性进行氢气杂质分离、转化,全面处理氢气中包含的杂质,以提高了多晶硅纯度与品质。