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集成电路制造项目环境影响评价技术评估要点探讨

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摘要 集成电路行业是支撑国民经济和社会发展的战略性产业,本文重点聚焦集成电路行业中的主要环境污染源—芯片制造工序,分析其主要产排污环节、污染物种类、环境污染特征和污染防治措施,强调在生产运行过程中,应重视源头控制和末端治理,并探讨此类项目环境影响评价技术评估的要点,为相关环境影响评价从业人员提供借鉴和参考素材。
作者 孙瑞茹
出处 《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》 2024年第6期0140-0142,共3页
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