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某芯片厂房洁净室VOCs浓度超标原因分析与改进措施

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摘要 对某芯片厂洁净室VOCs浓度超标原因进行分析,利用GIS数据获取建筑群几何模型,以及CFD方法模拟计算室外风场,最后通过重新设置合适高度的排气筒来达到降低新风入口VOCs浓度的目的。洁净厂房的建筑型体设计应避免产生较大动力阴影区影响废气排放,同时应合理布置机房,把新风入口设置在主流风向上游,综合考虑废气排放高度对新风入口的影响。
出处 《中文科技期刊数据库(引文版)工程技术》 2024年第7期0173-0177,共5页
基金 国家自然科学基金项目“基于SVM卷积神经网络的火灾导线熔痕分类识别技术研究”(编号:51801036)。
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