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基于掺杂浓度标准样片的半导体材料掺杂均匀性研究
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职称材料
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摘要
半导体材料的掺杂均匀性是影响其性能的关键因素之一。在本研究中,我们根据掺杂浓度标准样片,对半导体材料进行了掺杂浓度的优化和掺杂均匀性的评价。首先,我们通过运用多种实验手段,详细测量并分析了不同掺杂浓度下半导体材料的电学性能;然后,我们开发了一种基于标准样片的掺杂评价体系,通过对比不同标准样片,来客观易理解地评估半导体材料的掺杂均匀性。实验结果表明,我们制备的半导体材料在优化掺杂浓度下,具有良好的电学性能,并且掺杂均匀性得到了显著提高。同时也为今后相关工作提供了有力的参考和借鉴。
作者
赵昭
机构地区
中国电子技术标准化研究院
出处
《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》
2024年第7期0092-0095,共4页
关键词
掺杂浓度
半导体材料
掺杂均匀性
电学性能
标准样片
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术
2024年 第7期
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