基于视觉层面降低PECVD上下料机碎片率的方法研究

太阳能电池片生产线在PECVD镀膜工序采用全自动PECVD上下料机和六轴机器人完成电池片的传输和石墨舟内的装卸流程。本文基于视觉层面设计,全自动PECVD上下料机通过配备缺陷片视觉检测剔除系统和视觉翘片检测系统,减少电池片隐裂片源、避免舟内碎片、翘片,从而保证PECVD上下料机碎片率的有效降低,对提高设备稳定性和产品工艺指标起到至关重要的作用。