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一种新型变面积电容式角度传感器的设计 被引量:5

Design of a New Angular Sensor Based on Area-Changing Capacitive Theory
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摘要 介绍了一种电容极板固定于同一平面的变面积电容原理的非接触式角度传感器.传感器借助于多相激励信号源在极板上产生平面位置信号,通过过渡极板耦合形成对应于角位移信号的合成电场,利用合成信号与基准信号鉴相比较实现以角位移信号的测量.通过模型仿真和样品试验,验证了原理设计的可行性,并在误差分析基础上给出了减小误差的方法.传感器具有固定侧出线、低成本和测量区域及性能可拓展等特点. A noncontact area-changing capacitive angular sensor is introduced whose boards are fixed on the same plane. The angle measurement is achieved by the phase demodulation between the synthesized signal and the benchmark signal. The measurement recurs to the plane position which is generated on the boards with the multiphase excitation signal source, and the synthesized electric field corresponding to angular displacement which is formed by the transition boards coupling. The feasibility of the design is valid...
机构地区 中国计量学院
出处 《电子器件》 CAS 2007年第6期2108-2111,共4页 Chinese Journal of Electron Devices
基金 浙江省重点科技计划项目(编号2003C21032)
关键词 角度传感器 合成电场 变面积 误差分析 angular sensor synthesized electric field area-changing error analysis
  • 相关文献

参考文献6

二级参考文献14

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共引文献30

同被引文献53

引证文献5

二级引证文献2

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