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压阻式压力传感器温度误差的数字补偿技术 被引量:11

Digital Compensation Technology for Thermal Errors of Piezoresistive Pressure Sensor
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摘要 压力传感器性能易受温度变化的影响,产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移,从而增加了测量结果的误差。根据压阻式压力传感器温度误差分析,提出了基于MAX1457芯片的数字补偿技术,对温度误差进行补偿,并运用到多个压阻式压力传感器上,在特定的温度允许下进行补偿。结果表明该种方法补偿精度高、稳定性好,有效地抑制了温度漂移。 The performance of pressure sensor can be affected by temperature,which brings thermal zero drift and thermal sensitivity drift,results in the increase of measurement error.A technology of digital compensation based on MAX1457 was put forward to compensate the thermal errors and non-linearity of piezoresistive pressure sensor according to their characteristics,and the method was used to many piezoresistive pressure sensors.The experimental results show that the compensation technology has high precision and...
出处 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第5期76-77,共2页 Instrument Technique and Sensor
关键词 压阻式压力传感器 温度漂移 数字补偿 piezoresistive pressure sensor thermal drift digital compensation
  • 相关文献

参考文献2

  • 1[3]Maxim Engineering Journal Volume 32,1998.
  • 2[4]Max1457 Data Sheet.MAXIM,1999.

同被引文献68

引证文献11

二级引证文献69

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