摘要
介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响。退火对发光特性及材料具有改善作用。
Preparation methods and photoluminescence of Erdoped Al2O3 waveguide films are reviewed. Different processes and factors such as OH- level, Er concentration, film structure and thermal annealing affectting photoluminescence intensity and lifetime of Erdoped films are analyzed
出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期344-349,共6页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家自然科学基金资助项目(69889701)
辽宁省科技厅资助项目 (2 0 0 2 2 1 1 0 )
