铁电薄膜C-V特性测量研究
Study of Measuring C-V Characteristic in Ferroelectric Thin Films
摘要
采用TH2828型LCR测试仪及四端对接测量方法,搭建了铁电薄膜的介电特性测试平台。利用此测试平台对自制钛酸锶钡(简称BST)铁电薄膜材料的C-V特性进行测量,能准确表征铁电薄膜的介电特性。
出处
《实验科学与技术》
2005年第z1期129-131,共3页
Experiment Science and Technology
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