期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响

Effects of Substrate Quality on Fabrication of ZnO Piezoelectric Thin Film by Sol-gel Method
下载PDF
导出
摘要 采用溶胶-凝胶法分别在晶态衬底Si/SiO2/Ti/Pt和无定形态衬底Si/SiO2上制备了ZnO压电薄膜.以X射线衍射仪和原子力显微镜研究了薄膜的002择优取向度和表面形貌.结果表明,采用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt和Si/SiO2衬底上都能制备出具有较好择优取向,表面粗糙度低的ZnO薄膜,而且由于Pt和ZnO的晶格失配度较小,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上生长的ZnO薄膜形成002择优取向的退火温度低于在Si/SiO2衬底上生长的薄膜形成002择优取向的退火温度.
作者 王敏锐 王兢 陈文 崔岩
机构地区 大连理工大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期321-323,共3页 China Mechanical Engineering
基金 国家自然科学资金资助重大项目(90207003)
关键词 溶胶-凝胶法 002择优取向 晶态 非晶态
分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 相关文献

参考文献10

  • 1[1]Devoe D L, Pisano A P. Surface Micromachined Piezoelectric Accelerometers (PiXLs). J. Microelectromechanical System, 2001, 10(2): 180～ 186
  • 2[2]Arai F, Motoo K, Paul G,et al. Nonvel Touch Sensor with Piezoelectric Thin Film for Microbial Separation. The 2003 IEEE International Conference on Robotics and Automation, Taipei, 2003
  • 3[3]Shen Y T, Xi N, Li W J,et al. A High Sensitivity Force Shensor for Microassembly:Design and Experiments. The 2003 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM2003) ,Kobe,Japan, 2003
  • 4[4]Yu S, Steven N F, Potasek D P,et al. Characterizing Fruit Fly Flight Behavior Using a Microforce Shensor with a New Comb-drive Configuration.J. Microelectromechanical Systems, 2005, 14(1):4～11
  • 5[5]Katoa H, Sanoa M, Miyamoto K,et al. Growth and Characterization of Ga-doped ZnO Layers on aplane Sapphire Substrates Grown Bymolecular Beam Epitaxy. J. Cryst. Growth, 2002, 237:538～543
  • 6[6]Tang I T, Wang Y C, Hwang W C. Investigation of Piezoelectric ZnO Film Deposited on Diamond Like Carbon Coated Onto Si Substrate under Different Sputtering Conditions. J. Cryst. Growth,2003,252:190～198
  • 7[7]Sriram M, Sheng H F, Zhong J, et al. Selective MOCVD Growth of ZnO Nanotips. IEEE Transactions on Nanotechnology, 2003, 2(1): 50～55
  • 8翟继卫,陈小刚,张良莹,姚熹.高度取向ZnO薄膜的介电和光波导特性研究[J].压电与声光,1999,21(4):309-313. 被引量：3
  • 9邱东江,吴惠桢,金进生,徐晓玲.不同衬底上低温生长的ZnO晶体薄膜的结构及光学性质比较[J].真空科学与技术,2001,21(1):5-8. 被引量：8
  • 10[10]Bandyopadhyay S, Paul G K, Roy R,et al. Study of Structural and Electrical Properties of Grainboundary Modified ZnO Films Prepared by Solgel Technique. Materials Chemistry and Physics,2002, 74:83～91

二级参考文献2

共引文献9

中国机械工程
2005年 第z1期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部