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基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究

Preliminary Study of Calibration System Based on Silicon PZT Microsensor
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摘要 采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si<100>上用溶胶-凝胶法制备,然后在600℃下退火.PZT微力传感器完全由MEMS体硅加工工艺来实现.
作者 崔岩 佟建华 董维杰 王立鼎
机构地区 大连理工大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期372-374,共3页 China Mechanical Engineering
基金 国家自然科学基金资助项目(90207003,50305001)
关键词 PZT薄膜 微力传感器 标定 双晶片
分类号 TH703.65 [机械工程—精密仪器及机械]
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参考文献6

  • 1[1]Luginbuhl P,Racine G A,Lerch P,et al. Piezoelectric Cantilever Beams Actuated by PZT Sol- gel Films. Sensors and Actuators A, 1996, 53: 530～535
  • 2[2]Miyahara Y,Fuji T,Watanaha S,et al. PZT Cantilever for Non-contact Atomic Force Microscopy.Applied Surface Science, 1999, 140:428～ 431
  • 3[3]Mumlt P,Kohli M,Maeder T,et al. Fabrication and Characterization of PZT Thin-film Vibrators for Micromotors. Sensors and Actuators A, 1995,48:157～165
  • 4[4]Park Jung-Ho,Yoshida Kazuhiro,Yokota Shinichi. Resonantly Driven Piezceleetric Micropump Fabricaticq of a Micmpump Having High Power Density. Mechatronics, 1999,9: 687～ 702
  • 5[5]Jin Wenlin, Mote C D. On the Calibration of Multicomponent Micforce Sensors. Journal of Microelectromechanical System, 1998,7 (2): 156～ 163
  • 6[6]Cumpson P J. Zhdan P, Hedley J. Calibration of AFM Cantilever Stiffness: a Microfabricated Array of Reflective Springs. Ultramicroscopy, 2004, 100:241～251
中国机械工程
2005年 第z1期

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