一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究
Research on a Miniature Valve Driven by an Electromagnetic Actuator
摘要
介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期99-101,共3页
China Mechanical Engineering
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