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CO2激光直写加工PMMA微流控芯片 被引量：2

Fabrication of PMMA Microfluidic Chip by CO2 Laser Direct-writing
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摘要 提出使用CO2激光器进行PMMA微流控芯片加工的方法.研究了激光功率,频率,扫描速度等参数及加工程序对芯片加工质量的影响.使用热压法进行芯片键合.考察了键合过程交叉沟道局部封闭的原因并提出工艺的改进.采用三维显微成像系统和配置CCD的金相显微镜对PMMA芯片的微沟道及其横截面进行了表征.该方法快速简单,设备成本和操作成本低廉,尤其适于科研机构进行芯片的前期开发.
作者 叶嘉明 张维 张玉龙 周勇亮
机构地区 厦门大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期102-105,共4页 China Mechanical Engineering
基金 福建省科技攻关重点资助项目(2003H86)
关键词 微流控芯片 激光加工 聚甲基丙稀酸甲酯 CO2激光
分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学] O657 [理学—分析化学]
  • 相关文献

参考文献5

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二级参考文献9

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共引文献3

同被引文献15

引证文献2

二级引证文献11

中国机械工程
2005年 第z1期

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