Ku波段交直流分离的MEMS开关的模拟与设计

Design and Analysis of a DC and AC Separated MEMS Switch for Ku Band Applications

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摘要介绍了一种带直流驱动电极交直流分离的MEMS开关,研究了影响开关阈值电压的因素,运用缩腰设计、尺寸优化等方法降低开关的阈值电压,并将这种平膜开关与其他几种结构的膜开关进行比较.使用Coventor和HFSS软件模拟,设计的开关阈值电压小于20V,在Ku波段插入损耗低于0.1dB,反射损耗低于-25dB,谐振点隔离度高于40dB.

作者蔡洁廖小平朱健

机构地区东南大学MEMS教育部重点实验室

出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期121-123,共3页 China Mechanical Engineering

关键词 MEMS 阈值电压插入损耗反射损耗隔离度

分类号 TN303 [电子电信—物理电子学] TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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