推挽式线性驱动隧穿加速度计研究

Research on Push-pull Linearity Drived Tunneling Accelerometer

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摘要介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的成品率,此技术还应用于隧穿陀螺仪和隧穿磁强计的研制.

作者何洪涛杨拥军

机构地区中国电子科技集团公司第十三研究所

出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期137-139,共3页 China Mechanical Engineering

关键词 MEMS 隧穿效应加速度计推挽式

参考文献1

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中国机械工程

2005年第z1期

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