基于SOC的微气压传感器研究

Research on Vacuum Sensors Based on SOC

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摘要研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1～100kPa)内,对微小气压的响应具有良好的线性性质,易于实现信号处理电路和传感电路的单片集成.

作者高仁璟唐祯安张凤田王海霞江胜峰

机构地区大连理工大学

出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期155-157,共3页 China Mechanical Engineering

基金国家自然科学基金资助重点项目(90207003)

关键词微气压测试系统 SOC AD590

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中国机械工程

2005年第z1期

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