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静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器 被引量：5

Electric Field Micro-Sensor Based on Electrostatic Comb-Driven and Differential Detecting
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摘要 研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器.利用相关检测原理对该传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105～25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV·m/kV.
作者 彭春荣 龚超 陈贤祥 陶虎 白强 罗蕾 夏善红
机构地区 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院研究生院 Berkeley Sensor and Actuator center
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期171-173,共3页 China Mechanical Engineering
基金 国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404030)
关键词 微型电场传感器 相关检测 差分检测 静电梳齿激励
分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献4

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同被引文献19

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引证文献5

二级引证文献10

中国机械工程
2005年 第z1期

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