期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

闪耀式光栅光调制器及其机电耦合分析与仿真

Electromechanical Coupled Analysis and Simulation of Blazed Grating Light Modulator
下载PDF
导出
摘要 提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材料性能对吸合电压、固有频率的影响.最后通过Coventorware软件对器件进行机电耦合仿真,通过对比,模型Ⅱ更为合理,分析结果为器件的制造提供了理论依据.
作者 闫许 黄尚廉 张洁 张智海 陈伟民
机构地区 重庆大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期227-230,共4页 China Mechanical Engineering
关键词 微光机电系统 光栅光调制器 悬臂梁 机电特性
分类号 TN761 [电子电信—电路与系统]
  • 相关文献

参考文献5

  • 1[2]Mignardi M A. Digital Micromirror Array for Projection TV. Solid State Technology, 1994,37: 63～66
  • 2[3]Corrigan R R,Amm D T,Staker P A,et al. Calibration of a Scanned Linear Grating Light Value Projection System. Society for Information Dosplay Symposium, San Jose, California, America, 1999
  • 3[6]Wei L C,Mohammad A B,Kassim N M. Analytical Modeling for Determination of Pull-In Voltage for an Electrostatic Actuated MEMS Cantilever Beam.ISCE 2002Proc, Penang, Malaysia,2002
  • 4[7]Seeger J I,Craary S B. Stabilization of Electrostatically Actuated Mechanical Devices. international Conference on Solid-state Sensors and Actuators,Chicago, America, 1997
  • 5[8]Osterberg P M,Senturia S D. M-TEST: A Test Chip for MEMS Material Property Measurement Using Electrostatically Actuated Test Structures.Journal of Microelectromechanical Systems, 1997,6(2) :107～116
中国机械工程
2005年 第z1期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部