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一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现 被引量:2

Design and Realization of a Low Loss X-Band RF MEMS Bandpass Filter
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摘要 采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期231-232,共2页 China Mechanical Engineering
  • 相关文献

参考文献3

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引证文献2

二级引证文献8

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