微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

Design and Analysis of Test Circuits for Thermal Gas Pressure Microsensors

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摘要根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度.

作者江胜峰金仁成唐祯安张凤田高仁璟

机构地区大连理工大学

出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期281-284,共4页 China Mechanical Engineering

基金国家自然科学基金资助重点项目(90207003)

关键词微加热式微气压传感器恒温测试电路加热电阻

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中国机械工程

2005年第z1期

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