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用磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜 被引量：2

Transparent conducting ZnO films prepared on organic substrate by r.f. magnetron-sputtering.
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摘要 本文介绍了磁控溅射的原理以及磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜 的实验方法。 The magnetron-sputtering principles and the experimental method to prepare transparent conducting ZnO films on organic substrate by r.f. magnetron-sputtering were introduced in the paper.
作者 王军华
机构地区 潍坊学院
出处 《潍坊学院学报》 2004年第6期4-6,共3页 Journal of Weifang University
基金 潍坊学院自然科学基金资助项目
关键词 磁控溅射 柔性衬底 ZNO r.f. magnetron-sputtering, organic substrate, ZnO
分类号 O484 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献5

  • 1[1]K.Badeker,Ann.Phys.(Leipzig),22(1907)749.
  • 2[2]Moker jee,Lucas Aerospace Ltd, Luton LU29NQ,UK,Vacuum , 39(1989)537.
  • 3[3]John C.C.Fan,Frank Jbachner and George H.Foley,Appl.Phys. Lett.,31 (1977)3.
  • 4[4]H.L.Ma, D.H.Zhang. P.Ma,S.Z.Win, S.Y.Li, Thin Solid Films, 263(1995)105.
  • 5[5]叶良修.半导体物理学[M],北京:高等教育出版社,1988.

同被引文献7

引证文献2

二级引证文献6

潍坊学院学报
2004年 第6期

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